トランスペクター APX ALD シングルプレッシャー
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用途に特化したプラットフォーム設計により、ALDまたはCVDプロセスの寿命を最大限に延ばし、ウェーハとパネルの保護とプロセスの最適化を実現します。
ALDに対応し、毎秒550データポイントを超える測定速度を実現します。
高性能ポンプシステムによるファブの設置面積の30％削減と設置の容易化により、
過酷な腐食化学に耐える個別圧力インレット用のINFICON独自のコーティングを備えた温度制御インレット自動キャリブレーションにより、センサー間のデータの信頼性と精度が長期にわたって保証されます。
ツールとツールチャンバーのマッチングTranspector APXは、FabGuard® ソフトウェアと統合され、INFICONの世界有数のアプリケーションエキスパートがサポートすることで、強力なプロセス監視および診断ツールになります
