トランスペクター APX マルチプレッシャー
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INFICON Transpector APXは、半導体およびディスプレイプロセス監視用の残留ガス分析装置 (RGA) として市場をリードし続けています。INFICON は、半導体とディスプレイのお客様には固有のニーズがあることを認識しています。最新版の Transpector APX では、業界トップの測定速度と感度を維持しながら、特定のアプリケーション要件を満たす柔軟性が向上しています。トランスペクターAPXは、ALD、CVD、PVD、Etchなどの半導体プロセスに最適なRGAプロセスモニターです。
アプリケーションに特化したプラットフォーム設計により、ALDまたはCVDプロセスの耐用年数が最も長くなるため、ウェーハとパネルの保護とプロセスの最適化が実現します。
ALD対応により、毎秒550データポイントを超える測定速度を実現し、ファブの設置面積を 30%
削減し、高性能ポンプシステムにより設置が簡単になります。
過酷な腐食性化学に耐える最大3つの圧力入口を備えたINFICON独自のコーティングを備えた構成可能なHexBlock™
