トランスペクター CPM 3
世界14ヵ国にある現地支社を通じて製品を現地調達、日本へ輸入しております。その都度送料を含めた最良価格にてご提供しております。 見積依頼は以下のフォーム、またはメールにてお問い合わせ願います。東京、横浜、川崎、大阪、兵庫、京都、名古屋の工業都市を中心に活動している地元の宅配便業者を利用して、ご注文を最良の価格と迅速なサービスでお届けします。
ALD、Etch、CVD、300 mm Degas用の残留ガス分析装置—1ポイントあたり1.8 ms（555ポイント/秒）
の測定速度でALD対応のリアルタイムプロセス監視と分析を可能にします。
最も要求の厳しいCVDおよびエッチングアプリケーションで現場で実証済みの耐久性と信頼性アプリケーション統合—Transpector CPMは、FabGuardソフトウェアと統合され、
INFICONの世界有数のアプリケーション専門家がサポートすることで、強力なプロセス監視および診断ツールになりますコンパクトサイズ— 生産への統合が容易
半導体装置
Hexblock™ は、最大3つの圧力入口を備え、表面反応と応答時間を最小限に抑えるため、表面反応と応答時間を最小限に抑えます。
キャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）—CDGにより、ユーザーはプロセス圧力を監視し、システムを圧力変動から自動的に保護できます。
自動キャリブレーション—センサー間、およびツールとツールチャンバーのマッチングにおけるデータの長期にわたる安定性と精度を保証します
