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高感度のエアリークと高真空からPVDプロセスへのプロセス圧力からの汚染検出によるリアルタイムのウェーハおよびパネル保護迅速かつ信頼性の高いチャンバー認定により、
PM効率とツールの稼働時間を最大化します。長寿命で汚染に強いデュアルイオンソース設計により、
総所有コストを最小限に抑えます。ポンプを必要とせずに最大20 mTorrを監視できます。低圧EMバリアントは、コスト重視の代替手段を提供し、
強力なデータ収集と同期によるシームレスな製造統合と信頼性の高い阻止を実現します。
カスタマイズされたレシピの最適化により独自の製造能力を強化し、専門家による現場での迅速な対応により、
重要なプロセスニーズを保護します