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Augentは、2つのセンサー技術を1つのコンパクトなデバイスに統合し、1 x 10-7 mbarから5 mbarまでのガスタイプ監視と、1 x 10-7 mbarから大気までの全圧を同時に測定します。Augentは、内蔵のPiraniセンサーによって保護され、20 mbarを超えるプラズマをオフにします。高速光学測定原理により、原則としてあらゆる種類のガスを検出できます。
高速リーク検出により、チャンバーのリークテストが可能になり、生産性と生産性が向上し、
長寿命になり、フィラメントの燃焼がなく、
空気の侵入を防ぐことができます。
プロセスケミストリーに強く、
統合が容易なスマートアルゴリズムコンパクトな設計で設置面積が小さく、
信頼性が高く迅速な起動が可能です