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HPG400は、コストと工具スペースを節約し、
真空システムの設置とセットアップの複雑さを軽減します。高圧高温イオン計により、1×10-5... 1 mbarの正確で信頼性の高い圧力測定が可能になり、プロセス制御が改善されます。
ユーザー選択可能な5×10-2~1
mbarのホットイオン放出活性化ピラニインターロックにより、
高温のフィラメントを早期のバーンアウトから保護します。オプションのグラフィックディスプレイとフィールドバスインターフェースが利用可能自動高真空ピラニ調整により、オペレーターの介入が軽減されます。HS
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