IE414、IE514
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個別にキャリブレーションされたセンシングシステムによる高い測定精度交換可能なカソード交換可能なカソード最大400°Cの超高温ベイクアウト
IE414
Bayard-Alpertセンシング原理測定範囲カソード放射電流の変調 (IM540真空計コントローラとの組み合わせ) IE514エクストラクタの検出原理最低測定限界 (最低測定限界、最低2×10-12 mbar) X線およびX線の大幅な削減イオン脱着
