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l/sまで高い漏れ防止性能すべてのコンポーネントにヘリウムリークテストを行っています。材料のアウトガス率が低いため、
材料のアウトガス率が低くなります。-特に真空装置に適した材料品質の選択-優れた洗浄方法すべてのコンポーネントに関するドキュメントが用意されています