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小型バルブマイクロ当社の3種類の駆動タイプ (空圧、電気、電気、電気) と、
ストレートスルーフィッティングまたはライトアングル継手からお選びいただけます。
直角バルブとストレートスルーバルブ DN16-50ISO-KFサイズとDN53-160-Kサイズがあり、
これらのベローズシールバルブは幅広いシステムで使用されています。ドライブタイプ、ボディ材質、バルブ本体の形状に関して幅広いオプションが用意されているため、これらは一般に当社のBAVバルブまたはBIVバルブとして知られています。
SECUVAC真空安全バルブこれらのソレノイド直角バルブは、吸引防止弁を内蔵していないロータリー真空ポンプ用に特別に開発されました。SECUVAC安全弁は、停電時にバッキングポンプを介して予期せぬ排気から真空システムを保護し、バッキングポンプが再起動後に接続ラインを抜くまで、真空システムを密閉したまま真空状態に保ちます。
真空ロック/シールバルブは通常、真空チャンバーやガス充填チャンバーの密閉時、容器の排気後、または容器内のガス充填物の補充と交換に使用されます。
可変リークバルブ可変リークバルブには主に2つのバリエーションがあります。
標準バージョン:ガス流入量が1000〜5 x 10-6 mbar x l/sで、可変リークバルブをほぼすべての用途に使用できます。
UHVバージョン:500〜1 x 10-10 mbar x l/sまで制御できます。
ボールバルブボールバルブは、レバーを操作するだけで開閉できる、頑丈で費用対効果の高い小型のストレートバルブです。バルブの位置(オープン/クローズ)はレバーの位置から決定できます。レバーは取り外すことができます。
超高耐圧オールメタルバルブ超高真空のあらゆる用途に対応する信頼性の高いソリューションです。革新的な設計と回転可能な CF フランジにより、取り扱いが便利で設置も簡単です。バルブの信頼性は、最適なシール材を使用することで実現されています。耐用年数が非常に長い銀コーティングのシールは、1000 サイクル以上メンテナンスフリーです